理学研究科 [S-8]集束イオンビーム加工装置（FIB） Quanta 200 3DS
| 保有部局 | 理学研究科 |
|---|---|
| 設備等番号 | S-8 |
| 設備等名称 | 集束イオンビーム加工装置（FIB） Quanta 200 3DS |
| メーカー | 米国FEI社 |
| 購入年月 | 2010年1月 |
| 設置場所 | 理学１号館060 |
| 仕様・特徴 | 集束イオンビーム加工装置(Focused Ion Beam: FIB)は、ガリウム(Ga)イオンを集束させたイオンビームを当てることにより、試料表面の原子をはじきとばし試料を削ることができる。FIBは数100nmから数nmまで絞ることができるので、TEM観察用の試料を作製することが可能である。 本Quanta 200 3DSでは、電子銃もついているため、SIM(Scanning Ion Microscope：走査イオン顕微鏡)像だけでなく走査型電子顕微鏡像も取得できる。 |
| 問合せ先 | 北部構内事務部拠点運営推進室 nocias-kyotenjimu@mail2.adm.kyoto-u.ac.jp |