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加工装置

理学研究科 [S-8]集束イオンビーム加工装置(FIB) Quanta 200 3DS

集束イオンビーム加工装置(FIB) Quanta 200 3DS
保有部局 理学研究科
設備等番号 S-8
設備等名称 集束イオンビーム加工装置(FIB) Quanta 200 3DS
メーカー 米国FEI社
購入年月 2010年1月
設置場所 理学1号館060
仕様・特徴

集束イオンビーム加工装置(Focused Ion Beam: FIB)Transmission Electron Microscopy)は、ガリウム(Ga)イオンを集束させたイオンビームを当てることにより、試料表面の原子をはじきとばし試料を削ることができる。FIBは数100nmから数nmまで絞ることができるので、TEM観察用の試料を作製することが可能である。 本Quanta 200 3DSでは、電子銃もついているため、SIM(Scanning Ion Microscope:走査イオン顕微鏡)像だけでなく走査型電子顕微鏡像も取得できる。

問合せ先 北部構内事務部拠点運営推進室
nocias-kyotenjimu@mail2.adm.kyoto-u.ac.jp