INSTRUMENTS 機器一覧

パルス真空アーク放電を利用したナノ粒子/薄膜形成装置です。粉体や基板上に粒子/薄膜の形成が可能です。
パルス真空アーク蒸着は、シンプルなプロセスで金属イオンを生成し、極薄膜やナノ粒子を形成する手法です。
膜の平坦性、微粒子の形成など、他の蒸着法では得られない効果を得ることが可能です。
利用可能元素は伝導性のあるものに限られます。
ご利用には、既定のサイズのバルクターゲットのご準備をお願い致します。詳細は別途ご相談ください。